溶融アルカリ(NaOH)によるSiCの高速鏡面化に関する研究

抄録

溶融アルカリを用いたSiCのウエットエッチングは、従来SiCの結晶欠陥評価に用いられてきた。しかし、本研究ではこのエッチングを難加工材料であるSiCの高能率鏡面創成加工に適用することを目的に検討を行っている。本報では、特定条件下でSi面が高能率にかつエッチピットのない鏡面になることを見出したのでその基本特性を調査した結果について報告する。