白金触媒AFMプローブを用いたナノ化学加工技術の開発（第3報）

材料除去速度に及ぼす電圧印加の効果

抄録

本研究では，加工対象である固体表面と雰囲気物質（液体）の化学反応を“触媒”によって促進し，かつ当該反応をナノ空間内に制御することで，位置選択的に材料除去（化学エッチング）を行うナノ加工技術の開発を目的としている．本報では，白金（Pt）を被覆した原子間力顕微鏡（AFM）プローブを用いた水中でのSiの加工における材料除去速度（電気化学反応）の向上を目的とし，電圧印加の効果を調査し，加工メカニズムを考察した．