無酸素銅の超精密切削表面における結晶粒界段差の観察

徳山 達也; 手島 弘貴; 川上 洋司; 佐藤 嘉洋

doi:10.11522/pscjspe.2016A.0_231

2016年度精密工学会秋季大会

セッションID: E03

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016A.0_231

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2016年度精密工学会秋季大会

開催地: 茨城大学

開催日: 2016/09/06 - 2016/09/08

無酸素銅の超精密切削表面における結晶粒界段差の観察

*徳山達也, 手島弘貴, 川上洋司, 佐藤嘉洋

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キーワード: 超精密切削, 結晶粒界段差

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抄録

無酸素銅にダイヤモンドバイトを用いた超精密切削を施し，被削材表面に生じた結晶粒界段差に対して，光学顕微鏡，原子間力顕微鏡(AFM)，電子線後方散乱回折法(EBSD)を用いた観察を行った．結晶粒界段差の高さは経時的に線形増大し，その後増加が減少した．結晶粒界段差を形成する二対の結晶の平均粒径，方位差，Σ値を測定し，それらの値と結晶粒界段差の高さの関係を示した．

責任著者(Corresponding author)

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