水素添加ECRスパッタカーボン膜形成における基板バイアスの効果

水素添加，基板バイアスの変化と膜質の関係

抄録

ナノマイクロ加工を行う際にAFMを用いた加工法が検討されている.しかし、加工を行う探針への摩耗が問題になっている.そこで、AFM探針に高硬度なECRスパッタカーボン薄膜を被膜することで,耐摩耗性が向上しさらなる機械的特性の進展が期待できる．本研究では,探針のさらなる品質向上と目的として水素添加膜と基板バイアスとの膜質の特性を調べる。