スペックル干渉計測に基づく３軸方向に同一の感度を持つ三次元変形計測法の測定感度

精密工学会学術講演会講演論文集

2016年度精密工学会秋季大会

セッションID: B06

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016A.0_23

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2016年度精密工学会秋季大会

開催地: 茨城大学

開催日: 2016/09/06 - 2016/09/08

スペックル干渉計測に基づく３軸方向に同一の感度を持つ三次元変形計測法の測定感度

*新井泰彦, 横関俊介

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キーワード: スペックル干渉計測, 測定感度, 三次元変形計測

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抄録

スペックル干渉計測に基づく三軸方向に同一の感度を持つ三次元変形計測法が提案されている．この手法を用いた場合の測定感度について報告する．

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© 2016 公益社団法人精密工学会

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