電子線バイプリズムを用いた三次元形状計測法の開発

抄録

電子顕微鏡内に電子線バイプリズムを用いた電子線干渉装置を設け、干渉縞を解析することで微小構造物の表面形状を計測する三次元形状計測法の基礎実験を行った。電子線バイプリズムにより生じる電子線の干渉縞は、接地電極に設置した測定対象の形状の影響を受け、その縞間隔に位相差が生じると考えられる。そこでフィラメント-接地電極間の距離の変化に応じた干渉縞間隔の変化の推移を実験的に記録し、その評価を行った。