集束イオンビーム照射により形成された単結晶ダイヤモンド変質層の深紫外ラマン散乱（第2報）

イオン照射条件によるラマン散乱スペクトルの変化

抄録

集束イオンビーム加工を応用した精密加工用工具の開発について検討している。これまで、集束イオンビーム加工することにより単結晶ダイヤモンドに変質層が形成され、深紫外光照射により変質層の消失が起こることが確認された。本発表では、励起光に深紫外光を用いる深紫外顕微ラマンを行い加工変質層の消失の過程と加工変質層の消失において集束イオンビームの照射条件の関係性について検討する。