精密工学会学術講演会講演論文集
2016年度精密工学会秋季大会
セッションID: E08
会議情報

集束イオンビーム照射により形成された単結晶ダイヤモンド変質層の深紫外ラマン散乱(第2報)
イオン照射条件によるラマン散乱スペクトルの変化
*近野 佑太山口 誠川堰 宣隆神津 知己森田 昇西村 一仁
著者情報
会議録・要旨集 フリー

詳細
抄録
集束イオンビーム加工を応用した精密加工用工具の開発について検討している。これまで、集束イオンビーム加工することにより単結晶ダイヤモンドに変質層が形成され、深紫外光照射により変質層の消失が起こることが確認された。本発表では、励起光に深紫外光を用いる深紫外顕微ラマンを行い加工変質層の消失の過程と加工変質層の消失において集束イオンビームの照射条件の関係性について検討する。
著者関連情報
© 2016 公益社団法人 精密工学会
前の記事 次の記事
feedback
Top