広視野レーザ走査型干渉計を用いた新規干渉縞パターンの観察

抄録

広視野レーザ走査干渉計を用いると，広い領域にわたり一度に干渉縞計測が可能である．しかし，位相シフト法を適用するとなると大きなサイズの画像を複数枚観察することから計算時間等が長くなる．ここで，金属薄膜を成膜した参照板を使用すると，非正弦波状の干渉縞が観察された．しかも，この非正弦波状の干渉縞は，位相の情報を含んでおり，これを利用することで一度の画像取得で，観察面の形状が決定できる可能性が出てきた．