外径100μmのステンレス微細管へのマルチスリット形状電解エッチング

抄録

小径のステントや細径網目フィルタなどの加工に対応する技術を得るため、電解エッチングを用いて外径100μm、内径60μmのSUS304ステンレス管にスリット形状の穴を円周方向90度おきに4列、軸方向に22個ずつ、計88個開けた。マスキングにはレーザ走査リソグラフィで形成したレジストパターンを使用した。またアンダーカットの影響を軽減し、加工後の形状をより精密にするため、薄肉化を行った。