電子ビーム露光によるロール表面への描画特性

抄録

微細加工技術としてNIL(Nano Imprint Lithography)が注目されているが、従来のものではモールドを平面状に作製するためパターンの転写が連続的に行えないというデメリットがある。そこで、本研究では転写を連続的に行うために、Roll to Roll技術に使用できるロール状モールドの表面へ描画し、ナノオーダーのドットパターンの描画に成功した。本研究の成果はモールドの強度が向上することから、大面積の転写も可能になると考えられる。