銀インクを用いた金属ナノ構造積層技術の開発

抄録

近年、新たなデバイスとしてプラズモンメモリのようなプラズモンデバイスが着目されている。ナノオーダーの金属パターンと絶縁層である樹脂を積層させた構造が必要となっているが、真空蒸着による金属パターンの積層では、時間がかかるプロセスであるためスループットとコストを改良する必要がある。そこで本研究では、大気中で使用することができる銀インクを用いて銀ナノドットアレイの積層構造を作製した。