Advanced Kirkpatrick-Baezミラー結像光学系を用いた蛍光X線イメージング

安田 周平; 松山 智至; 岡田 浩巳; 佐野 泰久; 香村 芳樹; 矢橋 牧名; 石川 哲也; 山内 和人

doi:10.11522/pscjspe.2016A.0_267

2016年度精密工学会秋季大会

セッションID: E61

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016A.0_267

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2016年度精密工学会秋季大会

開催地: 茨城大学

開催日: 2016/09/06 - 2016/09/08

Advanced Kirkpatrick-Baezミラー結像光学系を用いた蛍光X線イメージング

*安田周平, 松山智至, 岡田浩巳, 佐野泰久, 香村芳樹, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

著者情報

キーワード: 結像型X線顕微鏡, 全反射ミラー, 色収差, 蛍光X線イメージング

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抄録

我々の研究グループはこれまでに，Advanced Kirkpatrick-Baez ミラー結像光学系を用いた結像型X線顕微鏡を開発し，色収差の影響なく50nmの空間分解能を実現している．本研究では，色収差なしを生かした応用観察である蛍光X線結像の実証を進めた．結像ミラーによる４回の全反射を，励起光と蛍光を隔てるフィルターとして用いることで，蛍光X線の結像に成功したのでその結果を詳細に報告する．

責任著者(Corresponding author)

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