小型かつ高拡大倍率が実現可能なX線結像光学系の開発（第2報）

小型X線結像ミラーの作製と評価

抄録

高分解能，色収差なし，小型，高拡大倍率を達成するX線結像光学系の実現において， X線結像ミラーの作製は最も重要な開発要素の一つである．特に，小型かつ急峻な曲面を有する双曲面凸ミラーと楕円面凹ミラーを2 nm PV以下の形状精度で作製しなければならない．本発表では，これまでに開発したイオンビーム加工装置とスティッチング干渉計を用いて，X線結像ミラーの加工・計測を行い，その性能を評価した結果について報告する．