2016年度精密工学会秋季大会
セッションID: E67
会議情報
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2016年度精密工学会秋季大会
開催地: 茨城大学
開催日: 2016/09/06 - 2016/09/08
中性子集光用高精度Wolterミラーマンドレルの作製（第2報）
マイクロ波プラズマジェット加工における加工速度のCF4/O2組成依存性
詳細
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2016年度精密工学会秋季大会
開催地: 茨城大学
開催日: 2016/09/06 - 2016/09/08
現在，中性子応用計測における測定時間短縮のため，集光デバイスを用いた中性子ビームの高強度化が求められている．我々はマイクロ波プラズマジェットを用いた数値制御PCVMにより，合成石英ガラス製のマンドレルを作製し，その上にNiC/Tiの多層膜を成膜することで，中性子集光用WolterⅠ 型ミラーの作製を目指している．本報では，合成石英ガラス基板のマイクロ波プラズマジェット加工における加工速度のCF4/O2組成依存性について評価した．
