中性子集光用高精度Wolterミラーマンドレルの作製（第3報）

石英ガラス基板のプラズマジェット加工における加工速度の基板温度依存性

抄録

我々は大気圧マイクロ波プラズマジェットを用いた数値制御PCVMにより，中性子顕微鏡に用いる合成石英製WolterⅠ型ミラーマンドレルの作製に取り組んでいる．プラズマ加工のように加工物表面の温度上昇を伴う化学的加工では，表面温度とエッチングレートの相関の把握が重要である．本報では，表面温度計測に基づくエッチングレートの補正に必要な，プラズマエッチング反応における合成石英ガラスの活性化エネルギーを実験的に求めた．