数値制御プラズマCVMにおける高精度・高能率化に関する研究（第2報） 減圧PCVMの走査加工時における加工量制御性の向上

境谷 省吾; 舩戸 大輔; 遠藤 勝義; 山村 和也

doi:10.11522/pscjspe.2016A.0_281

2016年度精密工学会秋季大会

セッションID: E69

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016A.0_281

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2016年度精密工学会秋季大会

開催地: 茨城大学

開催日: 2016/09/06 - 2016/09/08

数値制御プラズマCVMにおける高精度・高能率化に関する研究（第2報）

減圧PCVMの走査加工時における加工量制御性の向上

*境谷省吾, 舩戸大輔, 遠藤勝義, 山村和也

著者情報

キーワード: プラズマエッチング, ダメージフリー, 超精密形状創成法

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抄録

現在，我々は1/10気圧程度の雰囲気下で発生させた減圧プラズマを加工に用いるV-PCVM法の開発を行っている．減圧プラズマは大気圧プラズマと比較して加工能率が高く，安定したグロー放電を維持しやすいというメリットがある一方，ステージを高速で走査させた際に電極位置とプラズマ発生位置にずれが生じるという現象が確認されている．本報では上記のずれが生じる要因およびそれが加工精度へ与える影響を定量的に評価した結果を報告する．

責任著者(Corresponding author)

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