X線集光用回転楕円ミラーのマンドレル作製プロセスの開発

抄録

マンドレルの形状転写によって作製されるX線集光用回転楕円ミラーにおいて，反射X線像のスペックルノイズが問題となっている．そのノイズは，反射表面の1 mm前後の空間波長成分の凹凸に起因しており，使用するマンドレルの表面形状が原因であった．本発表では，その凹凸を除去するための形状修正加工プロセスについて報告する．また，マンドレル作製例について紹介する．