波長シフト干渉法による透明板の表面形状と板厚分布の同時測定

抄録

ガラス板のような透明物体の表面凹凸やその板厚を高精度測定する方法として，波長走査干渉法が知られている．しかし，従来技術では，波長走査の高い直線性が要求される．我々は，フィゾー干渉計と波長シフト干渉法による新たな表面，裏面，板厚分布の一括測定アルゴリズムを開発した．従来法の問題点を解決し，実用性に優れている．実験により，提案手法の妥当性を確認した．