波長シフト干渉計を用いる高温粗面物体の３次元形状計測

安達 正明

doi:10.11522/pscjspe.2016A.0_31

2016年度精密工学会秋季大会

セッションID: B13

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016A.0_31

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2016年度精密工学会秋季大会

開催地: 茨城大学

開催日: 2016/09/06 - 2016/09/08

波長シフト干渉計を用いる高温粗面物体の３次元形状計測

*安達正明

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キーワード: 光干渉, 3次元形状計測, スペックル干渉, 粗面

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抄録

光軸方向に激しい光路差変動の残る状況で使える，波長シフト干渉計を用いる粗面物体の３次元形状計測法を開発している．これまで高温のドライヤー風を吹き付ける状況での形状計測結果を報告してきた．今回は，通電し高温になったハンダごての形状をドライヤーの冷風をあてて測定した．干渉像の位相抽出のための位相シフト量計算を行う空間サイズの効果を，こての温度別に評価した．

責任著者(Corresponding author)

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