純水の高速噴流を用いたナノ加工法の基礎的検討

溶存酸素の影響調査

抄録

本研究では，砥粒や薬液等を必要としない，純水の噴流を用いたナノメートルスケールでの加工法の開発を目標としている．前回発表では噴流に曝露されたシリコン表面に酸化膜が形成されたことを報告したが，これに水中の溶存酸素が影響していることが考えられる．本報では，アルゴンガスを用いた水槽の脱気装置を製作し，溶存酸素を除去した状態での加工実験結果を報告する．