光マイクロ部品加工のメカニズム（キーノートスピーチ）

光ファイバ部品のマイクロ形状加工を中心にして

抄録

近年，いろいろなシチュエーション（いわゆる現場）での光の接続技術が注目されてきている．それに不可欠な現場での加工技術の検討を紹介する中で，マイクロ形状加工における様々なメカニズムに述べた．公転と自転を組み合わせた研磨板駆動機構を用いて小型軽量な装置で精度の良い加工を行った例を示した．また，ここでは加工精度を得るために光ファイバ自体が持つ均質で形状精度が良いという特徴を利用した．