精密工学会学術講演会講演論文集
2016年度精密工学会秋季大会
セッションID: F33
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第一原理計算を用いた材料設計手法によるチタン酸バリウム薄膜の創製及び評価
*八十田 穣Mani Ganesh Kumar上辻 靖智槌谷 和義
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抄録
圧電材料の薄膜化における圧電性の低下は深刻な問題であるにもかかわらず,一般化されたその機能向上手法は確立されていない.よって,圧電薄膜の定量的な高機能化手法の確立のため,チタン酸バリウムを対象に,第一原理シミュレーションにより圧電性向上に有効な添加元素の評価を行った.本報においては,その添加元素を有する薄膜において圧電特性の評価を行い,シミュレーションの有効性を確認した.
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© 2016 公益社団法人 精密工学会
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