精密工学会学術講演会講演論文集
2016年度精密工学会秋季大会
セッションID: F34
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深穴金型におけるPVDコーティング膜厚の均一化
対向デュアルビーム・アーク蒸着法の開発
*嶋村 公二山口 絵美政 誠一細川 晃
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抄録
対向デュアルビーム・アーク蒸着装置によって金型の深穴内面へTiN膜を生成し,膜厚分布を検証している.従来のPVDコーティングでは膜生成が不可能であったL(長さ)/D(内径)=5の深穴において,本製法では全面にTiN膜を生成することができる.また,深穴の奥部でも、入口部と同等の組成および塑性変形硬さが得られる.深穴を有する粉末成形用金型へ適用した結果、従来比10倍以上の寿命向上を実現している.
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© 2016 公益社団法人 精密工学会
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