深穴金型におけるPVDコーティング膜厚の均一化

対向デュアルビーム・アーク蒸着法の開発

抄録

対向デュアルビーム・アーク蒸着装置によって金型の深穴内面へTiN膜を生成し，膜厚分布を検証している．従来のPVDコーティングでは膜生成が不可能であったL（長さ）/D（内径）＝5の深穴において，本製法では全面にTiN膜を生成することができる．また，深穴の奥部でも、入口部と同等の組成および塑性変形硬さが得られる．深穴を有する粉末成形用金型へ適用した結果、従来比10倍以上の寿命向上を実現している．