光学式ウェハ厚さ計測における測定精度特性に関する研究（第3報）

抄録

光学式厚さ計における、焦点合わせ誤差、測定角度誤差、および偏心収差が厚さ測定値に及ぼす影響を数値解析および実験から定量評価する。