自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究（第4報） 液相プローブ高感度観察装置の検討

橘 一輝; 浅井 祥平; 道畑 正岐; 高増 潔; 高橋 哲

doi:10.11522/pscjspe.2016A.0_405

2016年度精密工学会秋季大会

セッションID: H04

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016A.0_405

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2016年度精密工学会秋季大会

開催地: 茨城大学

開催日: 2016/09/06 - 2016/09/08

自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究（第4報）

液相プローブ高感度観察装置の検討

*橘一輝, 浅井祥平, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

著者情報

キーワード: 欠陥検査, 表面検査, 光計測, ナノ異物

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抄録

基板上微細加工技術の進歩に伴い，製造プロセス中で応用可能な基板上ナノ異物検出法が求められている．そこで我々は，高感度性や高速計測性といった特性を備えた，揮発性液体をプローブとして用いる全く新しい原理に基づいた光学的ナノ異物検出手法を提案している．本報では，液相からの反射光の位相変動を利用した高感度観察装置を提案し，検出特性をシミュレーション及び実験的に検証した結果を示す．

責任著者(Corresponding author)

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