WGM共振を利用した微小球の直径計測（第6報） 近似式を用いた屈折率推定法の検討

儲 博懐; 道畑 正岐; 林 晃平; 高増 潔; 高橋 哲

doi:10.11522/pscjspe.2016A.0_411

2016年度精密工学会秋季大会

セッションID: H08

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016A.0_411

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2016年度精密工学会秋季大会

開催地: 茨城大学

開催日: 2016/09/06 - 2016/09/08

WGM共振を利用した微小球の直径計測（第6報）

近似式を用いた屈折率推定法の検討

*儲博懐, 道畑正岐, 林晃平, 高増潔, 高橋哲

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キーワード: WGM共振, マイクロ球, 形状計測, モード密度, 屈折率分散

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抄録

三次元座標測定機の精度につながる形状標準として用いられるマイクロ球の形状を10nm以下の精度で計測する技術確立を目的とし,WGM共振という球の内部で特有に発現する光共振現象に着目し,そのWGM共振波長を測定することでマイクロ球形状を測定する.本報では,球の屈折率分散による測定誤差に着目し,その影響を補正するため,近似式を用いた屈折率の推定方法について検討したので報告する.

責任著者(Corresponding author)

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