スロットダイコーターの精密計測に関する研究

第3報　マイクロプローブ先端球のその場校正の不確かさ評価

抄録

本研究では微小先端球付マイクロプローブによるスロットダイコーター溝幅の精密計測に取り組んだ．リンギングにより機械的に安定したブロックゲージから構成された2種類の校正用アーチファクトを用いたマイクロプローブ先端球の有効直径のその場校正法を提案し，スロットダイ溝幅測定を行った．溝幅測定の不確かさ評価に基づいて，校正用アーチファクトの違いによる先端球直径校正の比較を行ったので，その結果を報告する．