光放射圧プローブを用いた表面微細形状の評価技術に関する研究（第４報）

振動型光放射圧プローブを実装したハイブリッド計測器の構築

抄録

レーザトラッピングを用いた三次元幾何形状と表面微細形状のハイブリッド計測を提案している．本手法ではレーザで捕捉したガラスマイクロ球を振動させることで，位置検出のプローブとして利用する．また捕捉球のレンズ効果によって試料表面のイメージングが可能となる．本報では，提案手法の実現に向けた実験装置を構築し，基礎的な動作検証を行った．