正弦波周波数変調を用いたレーザーダイオードの周波数安定化及び精密干渉測長計の開発

抄録

正弦波周波数変調をレーザダイオード（LD）にかけることにより、その周波数安定化を図ることが出来る。同時に周波数を安定化したLDを光源として干渉計に適用し、干渉計出力に含まれる変調周波数の高次成分（例えば２次と３次：隣り合った成分）をロックイン検出し、これをリサージュダイアグラムに用いることで干渉計の可動ミラーの変位を決定できる。本報では、リサージュダイアグラムでなく直接位相補間を行う手法に関し提案する。この手法は任意の変調深さに適用できる。