光プローブの水平分解能の向上に関する研究

抄録

光学部品の高精度化に伴い，加工や計測に要求される精度がナノメートルスケールになっている．光プローブを用いた計測は非接触で計測することができ，高い垂直計測分解能を有する一方，水平方向の計測分解能はそれほど高くないという現状がある．そこで，本研究では水平分解能の向上を目的として，三方向からレーザ光を集中照射する高い水平分解能を有する光プローブを提案する．