三角測量方式を用いた金属ワークでの変位計測を高精度化するための走行露光法の開発

抄録

我々は、三角測量方式を用いて高精度に金属ワークの変位計測を行う手法として、走行露光法を新たに開発した。走行露光法とは、イメージセンサの露光時間中に、投光ビームの照射スポットを金属ワーク面内で移動させ、複数位置からの反射光を蓄積し、金属粗面からの反射光分布を平均化する手法である。本手法により、金属ワークでの変位計測ばらつきを33μmから5μmに抑制できることを実験的に確認した。