精密工学会学術講演会講演論文集
2016年度精密工学会秋季大会
セッションID: J35
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メッシュ工具におけるラッピング特性
*川波多 裕司桐野 宙冶張 宇谷 泰弘
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抄録
研磨において、定盤表面形状が研磨に与える影響を調べるためにラッピング工具に金属メッシュを用いて、サファイアの研磨を行った。メッシュ間隔や定盤表面の凹凸形状を変化させることで、研磨特性がどのように変化するか把握し、理想的な定盤表面形状について考察を行った結果を報告する。
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© 2016 公益社団法人 精密工学会
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