メッシュ工具におけるラッピング特性

抄録

研磨において、定盤表面形状が研磨に与える影響を調べるためにラッピング工具に金属メッシュを用いて、サファイアの研磨を行った。メッシュ間隔や定盤表面の凹凸形状を変化させることで、研磨特性がどのように変化するか把握し、理想的な定盤表面形状について考察を行った結果を報告する。