シリコンウエハ研削における研削ヘッドの傾斜制御

研削軸に作用する研削抵抗

抄録

本研究ではシリコンウエハのインフィード研削加工の形状精度を向上させることを目的とし，研削加工中の研削ヘッドの傾斜を制御する加工法を提案する．まず本報では，研削抵抗のうち研削ヘッド傾斜の要因となる軸心方向に作用する力（垂直研削抵抗）について検討した．