酸化セリウム研磨スラリーの分散・凝集状態の制御方法、効果と評価について

抄録

ガラス系材料の研磨において，研磨能率の向上と砥粒使用量削減のために，各種制御剤の組み合わせによるセリア研磨スラリーの分散・凝集状態の制御を図り，分散・凝集状態と研磨特性の関係を調べ，評価を行ったので，報告する。