圧電素子を用いたマイクロロボットの平面移動特性の改善

抄録

筆者らの研究室では、圧電素子と電磁石を利用して微小動作が可能なマイクロロボットを製作している。ロボットは3個の電磁石と3個の圧電素子を組み合わせており、多自由度微動位置決め装置としての応用を目指している。このロボットは案内を用いずインチワームの原理で移動しており移動面の摩擦の影響を受けるため、その移動特性の改善を図った。