非鉛圧電素子による共振駆動型SIDMアクチュエータの高性能化

横澤 宏紀; 土信田 豊; 岸本 純明; 森田 剛

doi:10.11522/pscjspe.2016A.0_563

2016年度精密工学会秋季大会

セッションID: J76

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016A.0_563

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2016年度精密工学会秋季大会

開催地: 茨城大学

開催日: 2016/09/06 - 2016/09/08

非鉛圧電素子による共振駆動型SIDMアクチュエータの高性能化

*横澤宏紀, 土信田豊, 岸本純明, 森田剛

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キーワード: 超音波モータ, 圧電アクチュエータ, 圧電超音波振動子, R-SIDMアクチュエータ, 非鉛振動子

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抄録

共振駆動型SIDMアクチュエータは，振動子の一次共振周波数と三次共振周波数の比を1:2に制御し駆動するアクチュエータであり，小型化が容易なことからカメラの手振れ補正等への応用が期待できる．本研究では，モード形状を考慮した適切な電極配置を行うために，非鉛圧電体を用いた振動子の圧電体部分の電極を対称に3個ずつ分割し，適切な電極使用によって駆動特性を向上させた．

責任著者(Corresponding author)

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