ナノ秒パルスレーザによる銀ナノワイヤ透明導電膜の除去加工特性と視認性評価

抄録

銀ナノワイヤ透明導電膜に対して，ナノ秒パルスファイバレーザを用いた除去加工におけるパルス幅の影響について実験的に検討した．銀ナノワイヤが除去された部分の表面品質を調査するために各種パルス幅の除去面積比率を評価したところ，良好な絶縁状態と低い除去面積比率はパルス幅200nsの時に得ることができた．また，パルス幅が数十nsより数百ns程度の方が除去部分の視認性に与える影響は小さかった．