超短パルスレーザによるガラスの穴あけ加工特性

抄録

超短パルスレーザ加工はガラスの高速な微細加工を可能とするが，その物理的メカニズムは詳細には理解されておらず，加工条件や材料物性値等の様々なパラメータが加工形状に及ぼす影響は十分に掌握されていない．本研究では超短パルスレーザの波長，パルス幅，パルスエネルギを広範に変化させて実験を行うことを通して，それらが加工形状や加工スピードに及ぼす影響を網羅的に調査した．