超短パルスレーザによるガラスの穴あけ加工特性

篠本 凜; 伊藤 佑介; 木崎 通; 龍腰 健太郎; 深澤 寧司; 長藤 圭介; 杉田 直彦; 光石 衛

doi:10.11522/pscjspe.2016A.0_631

2016年度精密工学会秋季大会

セッションID: L36

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016A.0_631

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2016年度精密工学会秋季大会

開催地: 茨城大学

開催日: 2016/09/06 - 2016/09/08

超短パルスレーザによるガラスの穴あけ加工特性

*篠本凜, 伊藤佑介, 木崎通, 龍腰健太郎, 深澤寧司, 長藤圭介, 杉田直彦, 光石衛

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キーワード: 超短パルスレーザ, レーザ加工, ガラス

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抄録

超短パルスレーザ加工はガラスの高速な微細加工を可能とするが，その物理的メカニズムは詳細には理解されておらず，加工条件や材料物性値等の様々なパラメータが加工形状に及ぼす影響は十分に掌握されていない．本研究では超短パルスレーザの波長，パルス幅，パルスエネルギを広範に変化させて実験を行うことを通して，それらが加工形状や加工スピードに及ぼす影響を網羅的に調査した．

責任著者(Corresponding author)

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