低フルエンス超短パルスレーザ照射による多層CVDダイヤモンド膜の加工特性

抄録

CVDダイヤモンドに対して超短パルスレーザを低フルエンスで照射すると，加工特性が変化することがわかった．本研究では様々な照射条件で多層CVDダイヤモンド膜に対して加工実験を行った．その結果，表面が除去されない低フルエンスで超短パルスレーザを照射すると，ダイヤモンドの表面状態が変化することが示唆された．そこで加工後の表面についてラマン分光法等を用いて分析を行い，その変化について考察した．その結果を報告する．