精密工学会学術講演会講演論文集
2016年度精密工学会秋季大会
セッションID: M04
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複数開口プローブを有する走査型イオン伝導顕微鏡を用いた帯電試料のイメージング
*白澤 樹江口 由祐水谷 祐輔牛木 辰男岩田 太
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抄録
走査型イオン伝導顕微鏡は電界液中において開口数十nmのピペットをプローブとして用い,ピペット内を流れるイオン電流を距離検出信号することで試料表面形状を非接触で観察するプローブ顕微鏡である。しかしながら,液中での生体試料の観察では試料表面の帯電がイオン電流の検出へ影響を及ぼす。本発表では複数開口を有するピペットを用いた走査型イオン伝導顕微鏡による帯電試料のイメージング手法について報告する。
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© 2016 公益社団法人 精密工学会
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