法線ベクトルを利用した非接触ナノ形状測定法の開発

装置の軸構成および走査方法が測定結果に及ぼす影響

抄録

近年形状自由度の高い光学素子が様々な分野にて応用されており、光学素子を高精度に作製するためにもナノ精度三次元測定法が必要とされている。そこで我々は光の直進性を利用した法線ベクトル検出型非接触ナノ形状測定法の開発を行っている。本報では測定装置の最適な軸構成および測定時のレーザの走査方向が測定結果に与える影響を明らかにするために、同一試料の形状測定を複数回行った。本報ではその結果について報告する。