マルチ角度センサを用いた小型非球面の形状測定

抄録

高精度での3次元形状測定を可能にするマルチビーム角度センサ(MBAS)を開発した。MBASはマイクロレンズアレイを用いたオートコリメータの技術を応用しており、これによって光線を複数に分割して表面形状の傾きを計算できる。MBASは測定の基準面となる高精度平面鏡が必要ないため、測定環境に影響を受けない測定をすることができ、測定の高精度化の検討をおこなった。