透明材料の光励起応答を利用した3次元光トリガー加工に関する研究

抄録

本研究では，透明材料やSiCなどのワイドバンドギャップ構造を持つ材料の内部を，超短パルス光照射時の光応答（光トリガー）を利用して，3次元的に加工する方法を提案する．本報告では，超短パルス光をワイドバンドギャップ材料に照射し，過渡的な光吸収率変化を利用して，透明材料を可視光ＣＷレーザーで加工する装置を試作し，提案手法の妥当性を検証するための基礎実験を行った結果について報告する．