精密工学会学術講演会講演論文集
2016年度精密工学会秋季大会
セッションID: M37
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蛍光球体マーカを用いた高精度な2点間変位計測
*小笠原 和也寺林 賢司濱本 侑樹大岩 孝彰
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抄録
本研究では,高精度な画像計測を目指し,蛍光球体マーカを用いた2点間変位計測を提案する.提案する蛍光球体マーカは,照明の反射光を除去し,蛍光のみを観測することができ,背景とマーカ輪郭部のコントラストを高くでき,エッジ情報を使ったマーカ位置検出を高精度化できる.蛍光球体マーカの基本特性および2点間変位計測による評価を行い,測定距離300mmの2点間変位計測において,RMS 0.7μmおよび標準偏差 0.6μmを達成した.
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© 2016 公益社団法人 精密工学会
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