ダイアフラムを用いた可変絞り形静圧軸受の研究

主軸台性能の数値解析と実験検証

抄録

高精度と高生産性をねらいとして研削盤に採用されている静圧軸受の製造コスト低減には，軸受ポケット数の低減や小型化が必要であり，可変絞りによる軸受の静剛性向上はこれらを実現する有効な手段である．本研究ではダイアフラムを用いた可変絞り形静圧軸受による主軸台の静特性，動特性を推定するための理論式を導出し，理論解析と実験により，従来のオリフィス絞りに対して可変絞りの優位性を検証した．