レーザ微細加工における不規則加工誤差の要因調査

精密工学会学術講演会講演論文集

2016年度精密工学会秋季大会

セッションID: P04

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016A.0_741

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2016年度精密工学会秋季大会

開催地: 茨城大学

開催日: 2016/09/06 - 2016/09/08

レーザ微細加工における不規則加工誤差の要因調査

鴨志田和樹, *小貫哲平, 尾嶌裕隆, 清水淳, 周立波, 田邉大輝, 登坂孝弘

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キーワード: レーザ微細加工, 加工誤差

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抄録

ニオブ酸リチウムへの超短パルスレーザを用いた直描レーザ微細加工において見られる不規則的な加工誤差の要因を調査した．

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© 2016 公益社団法人精密工学会

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