光触媒ナノ加工工具に関する基礎的研究（第9報）

ナノ粒子位置同定法の検討

抄録

本研究では，ソフトマテリアルを対象とした10nm以下の分解能での除去加工を可能にする非摩耗・回折限界非依存型光励起ナノ除去加工法を提案している．本提案手法では，光触媒ナノ粒子を工具チップとし，位置制御をレーザートラッピングにより行う．そのため，ナノ粒子の位置測定，制御が重要である．本報では，ナノ粒子の位置同定法を理論，実験的に比較検討し制御方法の評価を行う．