タルボット効果を用いた金属3次元ナノ構造の作製（第1報）

格子形状の影響解析および作製プロセスの検証

抄録

金属3次元ナノ構造はプラズモニクスの分野での利用価値が高く，光学素子としての実用化に向けた作製手法の開発が求められている．そこで，タルボット効果を用いた3次元的な光造形手法に着目した．光硬化レジストに金属ナノ粒子を分散させて構造を作製し，金属3次元ナノ構造を作製する手法を提案する．本報告では，格子形状がタルボット効果に及ぼす影響を電磁界解析により評価し，また，作製プロセスの検証実験を行った．