精密工学会学術講演会講演論文集
2016年度精密工学会春季大会
セッションID: T62
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光触媒ナノ工具に関する基礎的研究(第10報)
銀担持による工具チップ性能の向上
*儲 博懐堀田 陽亮増井 周造道畑 正岐高増 潔高橋 哲
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キーワード: 光触媒, 銀担持, 除去加工
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抄録
本研究で目指している,ソフトマテリアルを対象とした非磨耗・回折限界非依存型光励起ナノ除去加工工具は,現状,加工の速度に課題がある.本報では,工具チップである酸化チタンナノ粒子を銀担持させることにより,加工速度を上げられる方法を提案する.具体的には,粒径500nmのTiO2粒子に銀担持を行い,その加工特性について実験的に検討を行った.
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© 2016 公益社団法人 精密工学会
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