フォトニックナノジェットを利用した微細加工に関する研究（第2報） ビームの位置制御による加工特性の解明

上野原 努; 高谷 裕浩; 水谷 康弘

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_1011

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: T63

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_1011

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主催: 公益社団法人精密工学会

フォトニックナノジェットを利用した微細加工に関する研究（第2報）

ビームの位置制御による加工特性の解明

*上野原努, 高谷裕浩, 水谷康弘

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キーワード: レーザー微細加工, フォトニックナノジェット, 高アスペクト比形状

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抄録

フォトニックナノジェットは直径数マイクロメートルのマイクロ球にレーザー光を照射することで，マイクロ球後方に発生する光ビームである．そのビーム径は数百ナノメートルであり，伝搬距離は数マイクロメートルである．マイクロ球をマイクロピペットによって加工材料であるシリコンの表面から離れた位置で保持し，それらの間の距離を制御することによってビームの位置制御を行い，加工特性を明らかにする．

責任著者(Corresponding author)

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